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氮氩流量比对磁控溅射TiN 薄膜生长织构的影响
田颖萍, 范洪远, 成靖文
Effect of N2/Ar Flow Ratio on Orientation of TiN Thin Films
TIAN Ying-ping, FAN Hong-yuan, CHENG Jing-wen
表面技术 . 2012, (
3
): 19 -21，25 .
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