不同退火温度下a-C:Si涂层的热稳定性研究

唐昆, 张家豪, 李典雨, 谭可成, 张明军, 毛聪, 张健, 胡永乐

Thermal Stability of a-C:Si Coating at Different Annealing Temperature

TANG Kun, ZHANG Jia-hao, LI Dian-yu, TAN Ke-cheng, ZHANG Ming-jun, MAO Cong, ZHANG Jian, HU Yong-le

表面技术 . 2020, (6): 244 -252 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.06.029