金刚石化学机械抛光研究现状

金刚石化学机械抛光研究现状

袁菘, 郭晓光, 金洙吉, 康仁科, 郭东明

Research Status on Chemical Mechanical Polishing of Diamond

YUAN Song, GUO Xiao-guang, JIN Zhu-ji, KANG Ren-ke, GUO Dong-ming

表面技术 . 2020, (4): 11 -22 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.04.002