化学机械抛光中的接触状态研究概述

化学机械抛光中的接触状态研究概述

张朝辉, 耿旭, 李梓万, 王智源, 鲁智德

An Overview of Research on Contact State in Chemical Mechanical Polishing

ZHANG Chao-hui, GENG Xu, LI Zi-wan, WANG Zhi-yuan, LU Zhi-de

表面技术 . 2020, (3): 50 -56 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.03.007