光学元件表面离子束抛光过程边缘效应抑制

李晓静, 王大森, 王刚, 张旭, 张宁, 裴宁, 聂凤明, 齐子诚

Edge Effect Suppression of Ion Beam Figuring Process on Optical Component Surface

LI Xiao-jing, WANG Da-sen, WANG Gang, ZHANG Xu, ZHANG Ning, PEI Ning, NIE Feng-ming, QI Zi-cheng

表面技术 . 2020, (1): 349 -355 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.01.042