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射频辅助磁控溅射制备梯度Cr/CrC膜的性能
黄珂, 刘文军, 谭科, 罗书径
Performance of Gradient Cr-DLC Film Prepared by RF Enhanced Magnetron Sputtering
HUANG Ke, LIU Wen-jun, TAN Ke, LUO Shu-jing
表面技术 . 2019, (
9
): 287 -292 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.09.034