高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）等离子体放电时空特性研究进展

韩明月, 李刘合, 李花, 艾猛, 罗阳

Temporal/Spatial Characteristics of Plasma Discharge by High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS)

HAN Ming-yue, LI Liu-he, LI Hua, AI Meng, LUO Yang

表面技术 . 2019, (9): 20 -52 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.09.003