TiSiO非晶结构光学薄膜的性能调控机理研究进展
李大玉, 代书雨, 张燕军, 张徐, 张章
Research Progress for Regulation Mechanism of TiSiO Amorphous Structure Optical Films
LI Da-yu, DAI Shu-yu, ZHANG Yan-jun, ZHANG Xu, ZHANG Zhang
表面技术
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2018, (12): 83
-91
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DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.12.012
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