激光刻蚀2 μm铝/聚酰亚胺（PI）材料体系技术研究

刘孝丽, 熊玉卿, 周利成, 王瑞, 钟浩, 任立庆, 任妮

Technological Study on Laser Etching of 2 μm Aluminum Film/PI Material System

LIU Xiao-li, XIONG Yu-qing, ZHOU Li-cheng, WANG Rui, ZHONG Hao, REN Li-qing, REN Ni

表面技术 . 2018, (10): 321 -327 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.10.044