金刚石表面刻蚀技术研究进展

金刚石表面刻蚀技术研究进展

窦志强, 肖长江, 栗正新

Research Progress of Diamond Surface Etching Technology

DOU Zhi-qiang, XIAO Chang-jiang, LI Zheng-xin

表面技术 . 2018, (4): 90 -95 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.04.013