高离化率物理气相沉积涂层的研究进展

高离化率物理气相沉积涂层的研究进展

钟厉, 龙永杰

Study Progress of High Ionization Rate Physical Vapor Deposition Coatings

ZHONG Li, LONG Yong-jie

表面技术 . 2017, (6): 96 -101 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.015