复合高功率脉冲磁控溅射技术的研究进展

复合高功率脉冲磁控溅射技术的研究进展

李春伟, 苗红涛, 徐淑艳, 张群利

Research Progress of Hybrid High Power Impulse Magnetron Sputtering

LI Chun-wei, MIAO Hong-tao, XU Shu-yan, ZHANG Qun-li

表面技术 . 2016, (6): 82 -90 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.06.013