电弧离子镀制备 TiSiN 纳米复合涂层

电弧离子镀制备 TiSiN 纳米复合涂层

田灿鑫, 周小东, 周思华, 杨兵, 付德君

Deposition of TiSiN Nanocomposite Coatings by Arc Ion-plating

TIAN Can-xin, ZHOU Xiao-dong, ZHOU Si-hua, YANG Bing, FU De-jun

表面技术 . 2015, (8): 15 -19,37 . DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.08.003