廉冰娴,许兵.阳极氧化制备氧化钛薄膜原理剖析[J].表面技术,2010,39(4):45-46,82.
LIAN Bing-xian,XU Bing.Principle Analyses of Preparation Oxide Titanium Film Using Anode Oxidation[J].Surface Technology,2010,39(4):45-46,82
阳极氧化制备氧化钛薄膜原理剖析
Principle Analyses of Preparation Oxide Titanium Film Using Anode Oxidation
投稿时间:2009-11-21  修订日期:2010-08-10
DOI:
中文关键词:  阳极氧化  氧化薄膜  厚度  原理剖析  模拟
英文关键词:anode oxidation  oxide film  thickness  principle analysis  simulate
基金项目:
作者单位
廉冰娴 山西机电职业技术学院,长治046011 
许兵 山西机电职业技术学院,长治046011 
AuthorInstitution
LIAN Bing-xian Shanxi Institute of Mechanical& Electrical Engineering, Changzhi 046011, China 
XU Bing Shanxi Institute of Mechanical& Electrical Engineering, Changzhi 046011, China 
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中文摘要:
      通过实验制备了几种不同厚度的氧化钛薄膜,从膜的形成机理及氧化着色原理,得出薄膜厚度随电压增加而增加,且其增加速率大致在2.5 nm/V。重点剖析了氧化钛薄膜的氧化着色原理,并通过实验模拟分析了氧化膜形成机理,为后续研究提供了参考。
英文摘要:
      According to the experiment, several kinds of different thickness oxidize titanium film have been made. With the increasing of voltage, the film thickness also increases at a rate of 2.5 nm/V basically. In addition, the paper analyses oxidize-color principle of oxide titanium film priority using experiment and the form-mechanism of oxide titanium film simulately, which provides a reference for follow-up study.
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