姓名:尹韶辉

性别:

工作单位:湖南大学机械与运载工程学院

研究方向:

1.    非球面光学透镜及光学模具的超精密加工工艺及装备研发

2.    微结构/微尺度/非球面透镜超精密热压成型技术研发

3.    第三代半导体晶圆减薄磨削、CMP抛光工艺及装备研发

4.    磁流变化学纳米研磨工艺及装备研发

5.    超精密在位/在线测量技术研发

6.    超精密/纳米加工及成型过程仿真

7.    复杂曲面超精密/纳米加工数控软件研发

8.    加工过程视觉检测及监控技术研发

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